[发明专利]基于双标准光轴气浴的角位移激光干涉仪校准方法与装置

摘要

基于双标准光轴气浴的角位移激光干涉仪校准方法与装置属于激光测量技术领域，本发明将被校准激光干涉仪两条测量光束穿过双轴中空激光干涉镜组的中间通孔，两条被校准激光干涉仪测量光束平行置于两条平行标准测量光束中间位置；标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束垂直距离很小，标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束空气折射率值非常接近；气浴装置形成的稳定气浴环境使空气温度、湿度和气压近似均匀分布，使标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束空气折射率值更加接近。

主权项

一种基于双标准光轴气浴的角位移激光干涉仪校准方法，其特征在于该方法步骤如下：(1)标准激光干涉仪激光器的输出光经双轴中空激光干涉镜组形成相互平行的两条标准测量光束，并都入射到有中间孔的平面镜上，在垂直于两条标准测量光束的平面内，第一条与第二条标准测量光束投影位置点之间的连接线段M长为A，每条标准测量光束中带有平面镜位移信息的部分光被反射回双轴中空激光干涉镜组后，根据从双轴中空激光干涉镜组中获得的干涉信号，得到连接线段M所在直线与有中间孔的平面镜入射面夹角的变化值arctan((a1—a2)/A)，其中，a1和a2分别为有中间孔的平面镜上第一条和第二条标准测量光束入射区域的线位移测量值；(2)被校准激光干涉仪激光器的输出光经被校准激光干涉仪干涉镜组形成相互平行的两条被校准激光干涉仪测量光束，被校准激光干涉仪两条测量光束都穿过双轴中空激光干涉镜组的中间通孔，与两条标准测量光束平行，并都入射到被校准激光干涉仪平面反射镜上，在垂直于两条标准测量光束的平面内，第一条与第二条被校准激光干涉仪测量光束投影位置点之间的连接线段m长为B，连接线段m与连接线段M共线，两条带有被校准激光干涉仪平面反射镜位移信息的被校准激光干涉仪测量光束反射回被校准激光干涉仪干涉镜组后，根据从被校准激光干涉仪干涉镜组中获得的干涉信号，得到连接线段m所在直线与被校准激光干涉仪平面反射镜入射面夹角的变化值arctan((b1‑b2)／B)，其中，b1和b2分别为被校准激光干涉仪平面反射镜上第一条和第二条被校准激光干涉仪测量光束入射区域的线位移测量值；(3)气浴装置沿垂直于两条标准测量光束方向吹送匀速气流，形成稳定的气浴环境，在垂直于两条标准测量光束的平面，由两条标准测量光束在该平面投影点构成的线段区域内，气浴环境使空气温度、湿度和气压均匀分布，使标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束空气折射率值更加接近；(4)运动台进行任意旋转方向的小角度偏摆并伴有在垂直于标准测量光束的平面内任意二维方向的衍生位移，以匀速或非匀速采样速率，同步采样标准激光干涉仪夹角变化值arctan((a1‑a2)／A)和被校准激光干涉仪夹角变化值arctan((b1‑b2)／B)，将两夹角变化值作差arctan((a1‑a2)／A)‑arctan((b1‑b2)／B)，最终得到一系列角位移校准测量误差值。