[发明专利]用于MOCVD系统中控制外延片发光波长及均匀性的装置与方法

摘要

一种用于MOCVD系统中控制外延片发光波长及其均匀性的装置，包含通过上表面设置的若干凹盘对应放置有若干外延片的托盘、设置在顶盖上方的一组非接触式、发光补偿的激光测试发光波长谱仪，及设置在托盘下方的加热器，该托盘沿径向设置有若干同心圆但半径递增的环状区域，该若干外延片分布排列在该若干环状区域内；该一组非接触光学测试外延片发光波长测试仪沿径向排列在所述托盘上方，每个或相邻若干非接触式光学外延片发光波长测试仪，对应监测所述托盘上同一环状区域内的至少一个或多个外延片的发光波长；该加热器包含同心圆设置的一组环状排列、独立功率输入的多个加热元件，每一个或相邻若干个所述加热元件通过加热托盘，对应加热托盘上排列在同一环状区域上的若干外延片。

主权项

一种用于MOCVD系统中控制外延片发光波长及其均匀性的装置，包含通过上表面设置的若干凹盘对应放置有若干外延片的托盘、设置在顶盖上方的一组非接触式、发光补偿的激光测试发光波长谱仪，以及设置在托盘下方的加热器，其中：所述托盘沿径向设置有若干同心圆但半径递增的环状区域，所述若干外延片分布排列在该若干环状区域内；所述一组非接触光学测试外延片发光波长测试仪沿径向排列在所述托盘上方，每个或相邻若干非接触式光学外延片发光波长测试仪，对应监测所述托盘上同一环状区域内的至少一个或多个外延片的发光波长；所述加热器包含同心圆设置的一组环状排列、独立功率输入的多个加热元件，每一个或相邻若干个所述加热元件通过加热托盘，对应加热托盘上排列在同一环状区域上的若干外延片。