[发明专利]位移传感器、光谱特性测量设备及方法、颜色测量设备及方法、平面测量对象质量监控设备、和位移测量方法有效
| 申请号： | 201310478380.5 | 申请日： | 2013-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN103727880B | 公开（公告）日： | 2017-09-08 |
| 发明（设计）人： | 辻井敦;千田直道;西田和史 | 申请（专利权）人： | 横河电机株式会社 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G01J3/42;G01J3/46 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司11112 | 代理人： | 陈源,李铭 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开了光谱特性测量设备、颜色测量设备、平面测量对象质量监控设备、位移测量方法、光谱特性测量方法和颜色测量方法。位移传感器包括光源单元，其被构造为将具有不同的多个波长的光以倾斜的方向施加于平面测量对象的测量区域；分光镜，其被构造为测量被测量区域反射的光的光谱分布；特征量提取模块，其被构造为提取光谱分布的特征量；以及位移计算模块，其被构造为基于所提取的特征量以及预先获取的位移与特征量之间的关系来计算测量区域的位移。 | ||
| 搜索关键词： | 位移 传感器 光谱 特性 测量 设备 方法 颜色 平面 对象 质量 监控 测量方法 | ||
【主权项】：
一种位移传感器，包括：光源单元，其被构造为将具有不同的多个波长的光以倾斜的方向施加于平面测量对象的测量区域；分光镜，其被构造为测量被所述测量区域反射的光的光谱分布；特征量提取模块，其被构造为提取所述光谱分布的特征量；以及位移计算模块，其被构造为基于所提取的特征量以及预先获取的位移和特征量之间的关系来计算所述测量区域的位移，其中，所述光源单元包括光源和光学元件，所述光源被构造为向所述光学元件以一角度倾斜地发出光以生成具有不同的多个波长的光，在所述光学元件中透射波长或反射波长根据入射角度或入射位置而改变，从所述光学元件得到的透射光或反射光以倾斜方向施加于所述平面测量对象的测量区域。
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