[发明专利]立轴式激光小角度测量装置

摘要

本发明属于测量技术，具体公开了一种立轴式激光小角度测量装置，所述的干涉镜组、轴系和微动机构，干涉镜组包括偏振分光棱镜和三个反射镜，以及两个角隅棱镜，轴系包括主轴和轴套，主轴和轴套之间安装有轴承，弦臂固定安装在主轴。本装置能够实现对竖直角小角度进行检测和校准，设计的立轴轴系保证了正弦臂随轴系在水平方向上进行小角度转动，激光干涉仪测量光路光程差变化。另外干涉镜组、偏振分光棱镜以及反射镜等光学部件组成光学系统采用正弦原理完成线性量和角度量的转化，为装置实现小角度高精度测量提供了保障。

主权项

一种立轴式激光小角度测量装置，其特征在于：它包括干涉镜组（2）、轴系（3）和微动机构（6），所述的轴系（3）上设有正弦臂（4）和旋转臂（5），所述的干涉镜组（2）位于轴系（3）的一侧，微动机构（6）位于轴系（3）的另一侧；所述的干涉镜组（2）包括沿着光入射方向依次安装的偏振分光棱镜（17）和反射镜A（18），所述的反射镜A（18）的上方光反射方向上设有反射镜B（19），偏振分光棱镜（17）的下方分光方向上设有反射镜C（20），所述的反射镜B（19）的光反射方向上设有上角隅棱镜（11），所述的反射镜C（20）的光反射方向上设有下角隅棱镜（21）；所述的轴系（3）包括主轴（22）和套装在主轴（22）外的轴套（12），轴套(12)上固定设有压盖（14），所述的主轴（22）和轴套（12）之间安装有轴承；所述的正弦臂（4）固定安装在主轴（22）上，所述的主轴（22）的上端为平面的工作台（10）；所述的正弦臂（4）的两端分别固定上述上角隅棱镜（11）和下角隅棱镜（21）。