[发明专利]采用气体参考腔反馈补偿的半导体激光器气体检测系统

摘要

本发明提供了一种采用气体参考腔补偿的半导体激光器气体检测系统,所述系统包括发出不同波长光束的第一光源和第二光源和与其连接的第一波分复用器，将载有不同波长的光束合成一束并输出到宽带耦合器进行功率分束，分束后的光束分别通入到参考气室和检测气室，连接参考气室的第二波分复用器以及连接检测气室的第三波分复用器，用于将经过参考气室和检测气室的光束按照所述波长不同进行分束；第一和第二光电检测器，连接至所述第二波分复用器；第三和第四光电检测器，连接至所述第三波分复用器，生成第一至第四光强度信号；反馈控制单元，接收第一至第四光强度信号，并将比较结果作为反馈信号调节第一和第二光源。

主权项

一种采用气体参考腔补偿的半导体激光器气体检测系统,所述系统包括发出作为检测光束的第一波长光束的第一光源、发出作为参考光束的与所述第一波长不同的第二波长光束的第二光源,所述检测光束的第一波长与待测气体的特征吸收谱线相同；与所述第一光源和第二光源连接的第一波分复用器，用于将载有不同波长的第一光束和第二光束的光信号合成一束进行输出；与所述第一波分复用器连接的宽带耦合器，所述宽带耦合器用于将经所述第一波分复用器合成后的激光按照一定的功率比例分配后分成两路输出；参考气室，通入与待测气体成分一致且浓度已知的参考气体，并接收来自所述宽带耦合器分配的第一路输出光束并使其通过参考气体；检测气室，通入待测气体，并接收来自所述宽带耦合器分配的第二路输出光束并使其通过待测气体；连接所述参考气室的第二波分复用器，用于将经过所述参考气室的光束按照所述第一波长和第二波长进行分束；连接所述检测气室的第三波分复用器，用于将经过所述检测气室的光束按照所述第一波长和第二波长进行分束；第一光电检测器，连接至所述第二波分复用器，接收经过分束的第一波长的光束，生成第一光强度信号；第二光电检测器，连接至所述第二波分复用器，接收经过分束的第二波长的光束，生成第二光强度信号；第三光电检测器，连接至所述第三波分复用器，接收经过分束的第一波长的光束，生成第三光强度信号；第四光电检测器，连接至所述第三波分复用器，接收经过分束的第二波长的光束，生成第四光强度信号；反馈控制单元，接收所述第一光强度信号、第二光强度信号、第三光强度信号和第四光强度信号并进行比较，并将比较结果转换为反馈信号调节所述第一和第二光源。