[发明专利]防尘薄膜组件

摘要

本发明提供一种使防尘薄膜组件框架的宽窄到极限，以确保大的曝光面积的同时，防尘薄膜组件的制造中以及运送等中没有防尘薄膜组件框架的变形，防尘薄膜的折皱不会发生，可以以希望的尺寸精度在光掩膜上贴附的防尘薄膜组件。本发明的防尘薄膜组件具有防尘薄膜组件框架内框及外框的双重结构，所述内框在将防尘薄膜绷紧设置加以保持的同时具有掩模粘着层，所述外框在与所述内框密切接着的同时可从所述内框上分离。

主权项

一种防尘薄膜组件，其防尘薄膜组件框架为具有内框及外框的双重结构，所述内框在将防尘薄膜绷紧设置加以保持的同时具有掩模粘着层，其特征在于，所述外框在其内面以30～200μm的间隙与所述内框的外面密切接着的同时可从所述内框上分离。