[发明专利]钛聚焦环的制作方法在审
| 申请号： | 201310483498.7 | 申请日： | 2013-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN104561912A | 公开（公告）日： | 2015-04-29 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;张金林 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种钛聚焦环的制造方法，包括：提供高纯钛锭；对所述高纯钛锭进行加工形成钛条；对所述钛条进行整平处理；对所述钛条进行切割形成钛板条；对所述钛条或者所述钛板条进行热处理；对所述钛板条进行加工形成钛聚焦环。所述制造方法通过对钛条进行了整平处理，以及对钛条或者钛板条进行热处理，从而使得钛条表面平坦，保证后续形成的钛聚焦环厚度均一，并且消除了钛条或者钛板条的内部应力，同时使得钛条或者钛板条中是晶粒增大，从而满足用于制作钛聚焦环的力学性能要求，使得所形成的钛聚焦环不易变形。 | ||
| 搜索关键词： | 聚焦 制作方法 | ||
【主权项】：
一种钛聚焦环的制造方法，其特征在于，包括：提供高纯钛锭；对所述高纯钛锭进行加工形成钛条；对所述钛条进行整平处理；对所述钛条进行切割形成钛板条；对所述钛条或者所述钛板条进行热处理；对所述钛板条进行加工形成钛聚焦环。
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