[发明专利]高感度声波传感器有效
申请号: | 201310483915.8 | 申请日: | 2013-10-16 |
公开(公告)号: | CN104581549B | 公开(公告)日: | 2018-05-29 |
发明(设计)人: | 陈振颐;张朝森;王俊杰;张咏翔 | 申请(专利权)人: | 美律电子(深圳)有限公司 |
主分类号: | H04R7/04 | 分类号: | H04R7/04 |
代理公司: | 深圳市科吉华烽知识产权事务所(普通合伙) 44248 | 代理人: | 彭益宏 |
地址: | 518000 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种高感度声波传感器,包含一基板、一背板以及一振膜,振膜以其外周缘固定设于基板并覆盖基板之一开孔,并且背板具有一定位件连结振膜,进而定义出至少一振动部,以及复数个弹性件环设于振动部的周缘。本发明不需要变动振膜的厚度或是尺寸,振动部的变形宽度会比振膜的整体宽度来得小,使振动部的刚性增加,当声波传感器接收声波时,弹性件会优先产生变形并使振动部产生类似平移的上下振动,有效提升其声音接收的灵敏度以及讯噪比,也有助于维持制程稳定性与制作成本。 | ||
搜索关键词: | 振动部 振膜 声波传感器 弹性件 高感度 背板 基板 变形 平移 声波 覆盖基板 上下振动 声音接收 灵敏度 讯噪比 复数 环设 开孔 位件 制程 连结 制作 | ||
【主权项】:
1.一种高感度声波传感器,包含一基板、一背板以及一振膜,该振膜以其外周缘固定设于该基板并覆盖该基板的一开孔,其特征在于:还包括一定位件连结于该背板与该振膜之间,进而定义出至少一振动部,所述振动部的变形宽度小于振膜的整体变形宽度;以及复数个弹性件环设于该振动部的周缘,并在振动部之周缘优先产生变形。
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