[发明专利]一种激光粒子测量探头

摘要

本发明提供了一种激光粒子测量探头。所述的激光粒子测量探头通过法兰盘固定在密闭容器或真空容器的坚固外壳上，法兰盘连同法兰盘上的窗口玻璃将密闭容器或真空容器与外部环境隔离，并将主要的光学器件、机械部件、电子学器件隔离在密闭容器或真空容器外，避免污染被测容器内部环境；激光光束经光束整形模块后成为分布均匀、厚度为0.5mm~1mm的线形激光光束。激光光束被悬浮颗粒物质散射，聚光透镜聚拢散射激光至光电转换器件受光表面，光电转换器件将收集到的光信号转变成电信号待用。本发明有效地解决了真空容器和密闭容器内部悬浮颗粒实时监测问题。本发明结构简单，使用方便，可广泛用于固体激光装置光传输通道内部环境的实时监测。

主权项

1.一种激光粒子测量探头，其特征是：所述的测量探头含有激光器（1）、光束整形模块（2）、柱透镜（3）、反射镜（41）、反射镜（42）、反射镜（43）、反射镜（44）、聚光透镜（5）、光电转换器件（6）、法兰盘（7）、光束陷阱（11）；其中，所述的法兰盘（7）上设置安装有窗口玻璃（81）、窗口玻璃（82）的两个通光窗口；所述的激光器（1）、光束整形模块（2）、反射镜（41）、柱透镜（3）、反射镜（42）、窗口玻璃（81）、反射镜（43）、反射镜（44）、光束陷阱（11）依次排列；激光器（1）、光束整形模块（2）、柱透镜（3）、反射镜（41）、反射镜（42）、聚光透镜（5）、光电转换器件（6）位于法兰盘（7）的一侧；反射镜（43）、反射镜（44）、光束陷阱（11）位于法兰盘（7）的另一侧；其光路是，设置于法兰盘（7）一侧的激光器（1）发射激光，经光束整形模块（2）整形后得到分布均匀的线形激光光束（10），线形激光光束（10）经反射镜（41）作直角转向、柱透镜（3）调节线形激光光束（10）的宽度、线形激光光束（10）再经反射镜（42）作直角转向后透过窗口玻璃（81）进入法兰盘（7）的另一侧；线形激光光束（10）依次经过反射镜（43）、反射镜（44）作直角转向后进入光束陷阱（11），线形激光光束（10）被限定在光束陷阱（11）内；当反射镜（43）和反射镜（44）的中间区域的线形激光光束（10）所经过的路径上存在悬浮颗粒（12）时，线形激光光束（10）发生散射，散射激光透过窗口玻璃（82），经聚光透镜（5）聚拢后由光电转换器件（6）接收并转换成电信号。