[发明专利]一种缺口线端的OPC修正方法

摘要

本发明涉及一种缺口线端的OPC修正方法，包括：步骤（a）提供具有缺口线端的线条图案，根据基于模型的OPC修正将所述线条图案分为多段，并在所述缺口线端上生成多个关键尺寸目标值位置；步骤（b）将所述多个关键尺寸目标值位置减少为一个目标值位置，并重新设置所述目标值位置的坐标，以得到最佳目标值位置，缩短修正时间。在本发明针对特定线端例如具有缺口的线端时，在将所述线端分成多段后，在所述线端上形成多个目标值位置，然后将所述线端上的多个目标值位置减小为一个，并通过夫琅禾费（fraunhofer）的单孔衍射推理计算一个目标值位置的坐标，得到最佳目标值位置的坐标，以达到缩短运算时间的目的，更高效的进行修正。

主权项

1.一种缺口线端的OPC修正方法，包括：步骤(a)提供具有缺口线端的线条图案，根据基于模型的OPC修正将所述线条图案分为多段，并在所述缺口线端上生成多个关键尺寸目标值位置；步骤(b)将所述多个关键尺寸目标值位置减少为一个目标值位置，并重新设置所述目标值位置的坐标，以得到最佳目标值位置，缩短修正时间；其中，所述步骤(b)中，根据夫琅禾费的单孔衍射推理，在任一点的光的强度跟所述缺口的尺寸面积成正比，将所述多个关键尺寸目标值位置减少为一个目标值，并优化目标值放置位置得到所述最佳目标值位置，根据夫琅禾费的单孔衍射推理得到公式(I)，根据公式(I)计算所述最佳目标值位置的坐标P_x、P_y：其中，A、B分别为所述线条沿x轴方向和沿y轴方向的宽度，a、b分别为所述缺口沿x轴方向和y轴方向的宽度。