[发明专利]一种石英容器镀碳膜的方法及装置

摘要

一种石英容器镀碳膜的方法及装置，所述方法的步骤包括：S1、将石英容器放入王水中浸泡，冲洗干净后立即放入烘干设备中烘干；S2、将待镀碳的石英容器放入位于加热炉加热区的镀碳室内，对镀碳室抽真空；S3、将已抽真空的镀碳室加热至900℃～1130℃后，进行保温处理；S4、在900℃～1130℃的温度条件及真空条件下，向镀碳室内通入甲烷气体；S5、镀膜结束后，对镀碳室抽真空，再冷却至室温后，通入空气至常压，取出已镀碳的石英容器。通过在真空条件下，直接以甲烷气体为碳源对石英容器镀碳膜，可在整个石英容器内壁形成均匀平滑、致密的碳膜层，本发明的方法操作方便，装置结构简单，可以批量的对形状不一、形状复杂的石英容器进行镀碳。

主权项

一种石英容器镀碳膜的方法，其步骤包括：S1、石英容器的前处理：将石英容器放入王水中浸泡，浸泡时间为20～50分钟，再用去离子水冲洗干净后立即放入烘干设备中烘干；S2、装炉：将待镀碳的石英容器从烘干设备中取出，放入位于加热炉加热区的镀碳室内，对镀碳室抽真空至10‑2～10‑3Pa；S3、加热：将已抽真空的镀碳室加热至900℃～1130℃后，进行1～3小时的保温处理；S4、镀膜：在900℃～1130℃的温度条件及真空条件下，以2～7ml/min的流量向镀碳室内通入甲烷气体，通甲烷气体的时间为30～55min；S5、膜层退火：镀膜结束后，开启镀碳室的真空抽气泵，抽真空至10‑2～10‑3Pa，再降温冷却至室温后，通入空气至镀碳室内的压强为常压，取出已镀碳的石英容器。