[发明专利]太阳能电池用基板的表面处理方法有效

专利信息
申请号: 201310488489.7 申请日: 2013-10-17
公开(公告)号: CN103849937A 公开(公告)日: 2014-06-11
发明(设计)人: 尹起燦;郭将荣;金起弘;金鍊起;李秉喆;崔锺亨;韩奭奎;洪定义 申请(专利权)人: 韩化石油化学株式会社
主分类号: C30B33/10 分类号: C30B33/10;H01L31/18
代理公司: 北京金信立方知识产权代理有限公司 11225 代理人: 朱梅;张皓
地址: 韩国*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要: 发明涉及一种太阳能电池用基板的表面处理方法。根据本发明的表面处理方法,对于太阳能电池用基板进行第一湿式蚀刻工序、反应离子蚀刻工序及第二湿式蚀刻工序,以在基板表面上形成金字塔结构。这种金字塔结构降低光反射率,以提高太阳能电池的光吸收效率。根据本发明,能够不受结晶的种类和方向性的限制,而有效地对类单晶基板进行表面处理,从而提高太阳能电池的效率。
搜索关键词: 太阳能电池 用基板 表面 处理 方法
【主权项】:
一种太阳能电池用基板的表面处理方法,包括以下步骤:对于太阳能电池用基板进行第一湿式蚀刻;进行反应离子蚀刻;以及进行第二湿式蚀刻。
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