[发明专利]可实现离轴反射镜离轴量精确测量的系统及方法有效
申请号: | 201310488807.X | 申请日: | 2013-10-17 |
公开(公告)号: | CN103542790A | 公开(公告)日: | 2014-01-29 |
发明(设计)人: | 张学敏;段战军;闫肃;魏儒义;段嘉友;李华;张志军 | 申请(专利权)人: | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
主分类号: | G01B5/02 | 分类号: | G01B5/02 |
代理公司: | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人: | 姚敏杰 |
地址: | 710119 陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明涉及一种可实现离轴反射镜离轴量精确测量的系统及方法,该系统包括成像测量装置、立式转台、连接板、二维平移台以及光栅尺;二维平移台通过连接板设置在立式转台上并随立式转台绕立式转台的旋转轴进行旋转;待测离轴反射镜设置在二维平移台上并在二维平移台上进行二维运动;光栅尺的一端固定在连接板上,另一端止靠在平移台上;成像测量装置的光轴与立式转台的转轴是重合的。本发明提供了一种测量精度高的可实现离轴反射镜离轴量精确测量的系统及方法。 | ||
搜索关键词: | 实现 反射 镜离轴量 精确 测量 系统 方法 | ||
【主权项】:
一种可实现离轴反射镜离轴量精确测量的系统,其特征在于:所述系统包括成像测量装置、立式转台、连接板、二维平移台以及光栅尺;所述二维平移台通过连接板设置在立式转台上并随立式转台绕立式转台的旋转轴进行旋转;待测离轴反射镜设置在二维平移台上并在二维平移台上进行二维运动;所述光栅尺的一端固定在连接板上,另一端止靠在平移台上;所述成像测量装置的光轴与立式转台的转轴是重合的。
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