[发明专利]一种带有液体去泡功能的供给装置在审
| 申请号： | 201310488954.7 | 申请日： | 2013-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN104570625A | 公开（公告）日： | 2015-04-29 |
| 发明（设计）人： | 胡延兵;卢继奎 | 申请（专利权）人： | 沈阳芯源微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 何丽英 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及晶片涂胶显影工艺中的供液装置，具体地说是一种带有液体去泡功能的供给装置。包括供液桶、除气泡桶、补液管、排泡管及液体输出管，其中供液桶的底部和除气泡桶的底部通过补液管连通，所述供液桶和除气泡桶内液体的液面在同一平面上，所述供液桶和除气泡桶的上端均设有与排泡管连接的排气口，所述除气泡桶的底部设有液体输出管。所述装置还包括补液桶和补液泵，其中补液桶通过补液泵和液体输送管与供液桶连接。本发明利用两个药液桶串联，分两级进行去气泡，最终利用自身重力产生的压力进行供液。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 带有 液体 功能 供给 装置 | ||
【主权项】：
一种带有液体去泡功能的供给装置，其特征在于：包括供液桶(4)、除气泡桶(5)、补液管(7)、排泡管(10)及液体输出管(11)，其中供液桶(4)的底部和除气泡桶(5)的底部通过补液管(7)连通，使所述供液桶(4)和除气泡桶(5)内液体的液面在同一平面上，所述供液桶(4)和除气泡桶(5)的上端均设有与排泡管(10)连接的排气口，所述除气泡桶(5)的底部设有液体输出管(11)。
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