[发明专利]研磨垫、研磨装置及制造研磨垫的方法有效
| 申请号： | 201310489098.7 | 申请日： | 2013-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN104552034B | 公开（公告）日： | 2019-04-09 |
| 发明（设计）人： | 冯崇智;姚伊蓬;洪永璋;吴文杰 | 申请（专利权）人： | 三芳化学工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B24D3/28 | 分类号： | B24D3/28;B24D18/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 宋莉 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种研磨垫，其包含一发泡树脂结构骨架及多个辅助纤维丝，其中各辅助纤维丝间彼此独立且任意分散于该发泡树脂结构骨架间。本发明还提供一种研磨装置及制造研磨垫的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨垫 辅助纤维丝 研磨装置 彼此独立 发泡树脂 结构骨架 树脂结构 制造 | ||
【主权项】：
1.一种研磨垫，其包含：一发泡树脂结构骨架，其包含多个连通型孔洞；及多个辅助纤维丝，其中各辅助纤维丝间彼此独立且任意分散于该发泡树脂结构骨架间，所述多个辅助纤维丝突出于该发泡树脂结构骨架表面。
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