[发明专利]一种真空镀膜室无效
| 申请号： | 201310491811.1 | 申请日： | 2013-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN103498130A | 公开（公告）日： | 2014-01-08 |
| 发明（设计）人： | 关秉羽 | 申请（专利权）人： | 辽宁北宇真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 铁岭天工专利商标事务所 21105 | 代理人： | 靳万清 |
| 地址： | 112000 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空镀膜室，包括镀膜室罐体，镀膜室罐体底部具有罐体安装支架，镀膜室罐体内设有筒形弧形板安装转架，筒形弧形板安装转架具有筒体，所述筒形弧形板安装转架的筒体内固定装有与该筒体形状相配合的气密封空心筒。采用上述结构的真空镀膜室，由于所述筒形弧形板安装转架的筒体内固定装有与该筒体形状相配合的气密封空心筒，当使用真空泵抽镀膜室罐体内的气体时，相当于少抽了所述气密封空心筒所占空间体积的气体，因此即使采用功率较小的真空泵也能在相对较短的时间内使镀膜室罐体内达到所需要的真空度，由于可以采用较小功率的真空泵，所以使用本发明的真空镀膜室对板材镀膜时节约了电能，提高了效率，降低了真空泵的采购成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 | ||
【主权项】：
一种真空镀膜室，包括镀膜室罐体（1），镀膜室罐体（1）底部具有罐体安装支架（2），镀膜室罐体（1）内设有筒形弧形板安装转架（3），筒形弧形板安装转架（3）具有筒体（4），其特征在于：所述筒形弧形板安装转架（3）的筒体（4）内固定装有与该筒体（4）形状相配合的气密封空心筒（5）。
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