[发明专利]一种TEM样品的制备方法

摘要

本发明提供一种TEM样品的制备方法，其先将MEMS中的悬浮薄膜转移到一个随机的Si空片上，而后采用FIB进行常规样品制备，实现了MEMS中的悬浮薄膜的TEM样品制备。本发明中将悬浮薄膜与基体分离以后，悬浮薄膜是通过静电吸附的方式被吸起来的，这就最大限度的保证了悬浮薄膜的完整性；吸起来的悬浮薄膜通过AB胶与Si空片完全结合在一起的，该TEM样品在进一步的FIB制备过程中不会出现任何的变形和损坏；并且，将悬浮薄膜转移到Si空片上以后，样品切出来肯定是Si衬底存在的，在TEM观测中，可以通过做衍射保证电子束垂直样品界面入射，保证了量测数据的准确性；先将悬浮薄膜转移到Si空片上再进行样品的制备，使得该方法简单易行，大大节省了样品的制备时间。

主权项

一种TEM样品的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：1)提供一MEMS样品，使该MEMS样品中的悬浮薄膜与基体分离；2)将所述悬浮薄膜与基体分离的MEMS样品放入吸取机台，利用吸取系统吸取分离出来的悬浮薄膜；3)提供一Si空片，将其放置于吸取机台上，在Si空片上涂覆AB胶；4)通过转针将吸取起来的悬浮薄膜放在所述已涂有AB胶的Si空片上；5)将步骤4）之后获得的结构送入烘烤机台进行烘烤，使AB胶固化，以使悬浮薄膜与Si空片结合；6)将步骤5）之后获得的结构放入FIB机台进行切割，得到所需TEM样品。