[发明专利]倒装芯片键合结构及其形成方法无效
申请号: | 201310492900.8 | 申请日: | 2013-10-18 |
公开(公告)号: | CN103531559A | 公开(公告)日: | 2014-01-22 |
发明(设计)人: | 张辉;陈悦霖 | 申请(专利权)人: | 上海纪元微科电子有限公司 |
主分类号: | H01L23/488 | 分类号: | H01L23/488;H01L21/60 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 周耀君 |
地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供了一种倒装芯片键合结构,所述倒装芯片键合结构包括:芯片和基板,所述芯片通过锌球与所述基板键合在一起。在此,通过锌球将芯片与基板键合在一起,由于所述锌球的熔点高(通常的,锌的熔点为419.5摄氏度,高于回流焊工艺的温度),因此能够避免锌球坍塌、融化导致短路的问题;同时,由于锌球是一成品,即在倒装芯片键合结构形成过程中,避免了类似于通过铜柱将芯片与基板键合在一起时缓慢的铜柱生长过程,从而倒装芯片键合结构的生产成本低廉、工艺简便。 | ||
搜索关键词: | 倒装 芯片 结构 及其 形成 方法 | ||
【主权项】:
一种倒装芯片键合结构,其特征在于,包括:芯片和基板,所述芯片通过锌球与所述基板键合在一起。
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