[发明专利]一种对光波导通光性能进行测试的方法无效
| 申请号： | 201310498613.8 | 申请日： | 2013-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN103528798A | 公开（公告）日： | 2014-01-22 |
| 发明（设计）人： | 杨惠霞;谢亮;王瑞 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于扫描近场光学显微镜的对光波导通光性能进行测试的方法，该方法基于包括激光器、具有光波导的光波导器件、扫描驱动装置、输入近场光纤探针、输出近场光纤探针、信号发生器、锁相放大器、微纳操作臂、探测设备、控制箱和计算机的测试系统实现，包括：首先把制备的波导器件用胶粘剂粘在样品盒上；然后通过电镜寻找到光波导的位置，通过微纳操作臂将近场光纤探针移到光波导的某处，通过输入近场光纤探针引入光信号；输出光信号经输出近场光纤探针传输到探测设备中；通过扫描台驱动光波导在X和Y方向逐点扫描，得到整个光波导的近场光学图像；完成光波导芯片的测试。利用本发明，能够精确测试光波导器件的通光性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 对光 波导 性能 进行 测试 方法 | ||
【主权项】：
一种对光波导通光性能进行测试的方法，其特征在于，该方法基于包括激光器(4)、具有光波导(2)的光波导器件、扫描驱动装置(3)、输入近场光纤探针(12)、输出近场光纤探针(11)、信号发生器(5)、锁相放大器(6)、微纳操作臂(7)、探测设备(8)、控制箱(9)和计算机(10)的测试系统实现，该方法包括：步骤1：将具有光波导(2)的光波导器件用胶粘剂粘在样品盒上；步骤2：利用环境扫描电子显微镜在光波导器件中寻找到光波导(2)的具体位置，然后通过调节微纳操作臂(7)将输入近场光纤探针(12)移到光波导(2)的某处，通过输入近场光纤探针(12)将激光器(4)发出的光信号引入光波导(2)；步骤3：从光波导(2)输出的光信号经输出近场光纤探针(11)传输到探测设备(8)中进行探测扫描，扫描结果通过控制箱(9)进入计算机(10)，由计算机(10)对扫描结果进行数据处理；步骤4：通过扫描驱动装置(3)驱动光波导(2)在X和Y方向被逐点扫描，将扫描结果输送到计算机(10)进行数据处理，得到整个光波导器件的近场光学图像；步骤5：从得到的光波导器件的近场光学像和器件的表面结构像，得到光波导的通光性能及损耗特性，完成光波导通光性能的测试。
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