[发明专利]光致抗蚀剂剥离剂在审
| 申请号： | 201310498947.5 | 申请日： | 2013-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN103529657A | 公开（公告）日： | 2014-01-22 |
| 发明（设计）人： | 杨桂望 | 申请（专利权）人： | 杨桂望 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266000 山东省青岛*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种新型的光致抗蚀剂剥离剂，其包括N-乙基氨基甲酸乙酯、乙二醇单丁醚、没食子酸、有机溶剂和防腐蚀剂。其在剥离用于布图电子电路或显示元件金属布线的光致抗蚀剂的过程中，不腐蚀金属布线，特别是不腐蚀铝(aluminum)、钼(molybdenum)、铜(copper)、钛(titanium)等金属，且具有优秀的光致抗蚀剂剥离性的光致抗蚀剂剥离剂组合物。 | ||
| 搜索关键词： | 光致抗蚀剂 剥离 | ||
【主权项】：
一种新型的光致抗蚀剂剥离剂，其特征在于：包括N‑乙基氨基甲酸乙酯、乙二醇单丁醚、没食子酸、有机溶剂和防腐蚀剂。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于杨桂望，未经杨桂望许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310498947.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种复合包装袋
- 下一篇：平台供应船的动力定位系统
