[发明专利]一种微位移工作台

摘要

本发明公开了一种微位移工作台，包括基座、柔顺元件A、柔顺元件B、柔顺元件C、柔顺元件D、工作台、L型驱动架A、L型驱动架B、L型驱动架C、L型驱动架D、矩形驱动架、驱动微分头A、驱动微分头B、驱动微分头C、驱动微分头D、驱动微分头E和T型杆；所述的工作台通过柔顺元件A、柔顺元件B、柔顺元件C和柔顺元件D安装在基座上。由于本发明采取协调L型驱动架、矩形驱动架上的驱动微分头分别输入驱动位移，使微位移柔顺工作台获得了Y轴方向移动、Y轴方向旋转和Z轴方向旋转三个自由度的运动，实现了空间的运动。本发明采用驱动微分头作为驱动器，操作简单、灵活，维修方便，大幅度降低了成本。本发明加工方便、不需润滑、结构精度高。

主权项

一种微位移工作台，其特征在于：包括基座（1）、柔顺元件A（2）、柔顺元件B（3）、柔顺元件C（4）、柔顺元件D（5）、工作台（6）、L型驱动架A（7）、L型驱动架B（8）、L型驱动架C（9）、L型驱动架D（10）、矩形驱动架（11）、驱动微分头A（12）、驱动微分头B（13）、驱动微分头C（14）、驱动微分头D（15）、驱动微分头E（16）和T型杆（17）；所述的柔顺元件A（2）和柔顺元件B（3）的上端分别固定在工作台（6）中部的前侧面和后侧面上、其下端分别固定在基座（1）上，所述的柔顺元件C（4）和柔顺元件D（5）分别固定在工作台（6）的前侧面上的左右两端、其下端分别固定在基座（1）上，所述的工作台（6）通过柔顺元件A（2）、柔顺元件B（3）、柔顺元件C（4）和柔顺元件D（5）安装在基座（1）上；所述的L型驱动架A（7）和L型驱动架B（8）安装在工作台（6）的前侧基座（1）上，所述的L型驱动架C（9）安装在工作台（6）的左前侧基座（1）上，所述的L型驱动架D（10）安装在工作台（6）的右后前侧基座（1）上；所述的矩形驱动架（11）安装在工作台（6）的右前侧基座（1）上，所述的T型杆（17）用固定在工作台（6）中部下端面前侧；所述的驱动微分头A（12）和驱动微分头B（13）分别安装在L型驱动架A（7）和L型驱动架B（8）上；所述的驱动微分头C（14）安装在矩形驱动架（11）上；所述的驱动微分头D（15）和驱动微分头E（16）分别安装在L型驱动架C（9）和L型驱动架D（10）上。