[发明专利]利用丝网印刷工艺实现低成本叉指换能器和反射栅的制备无效
| 申请号： | 201310504263.1 | 申请日： | 2013-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN103522783A | 公开（公告）日： | 2014-01-22 |
| 发明（设计）人： | 滕建辅;黄媛昕;李琨;轩秀巍;曹阳 | 申请（专利权）人： | 天津理工大学 |
| 主分类号： | B41M1/12 | 分类号： | B41M1/12 |
| 代理公司： | 天津佳盟知识产权代理有限公司 12002 | 代理人： | 侯力 |
| 地址： | 300384 天津市西青*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 一种利用丝网印刷工艺实现低成本叉指换能器和反射栅的制备方法。该方法包括：根据应用场合的具体需求，设计声表面波器件版图，将待印刷的版图制成用于丝网印刷的掩膜板；采用导电银浆作为墨水，以抛光的压电材料基片作为基材，按照给墨、刮墨和收墨的顺序进行印刷；然后将印刷完毕的产品放入红外烤箱内，逐渐加热到130℃~150℃，并逐渐降温至室温，使得液体银墨水能够烧结为固体，并具有良好的导电性即可。本发明与传统微电子光刻工艺形成强烈对比的显著优势包括：1.生产设备的成本低；2.生产过程的工艺简便，成本也很低；3.制备过程中不产生废液和废气，更加环保；4.易于实现大规模生产。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 丝网 印刷 工艺 实现 低成本 叉指换能器 反射 制备 | ||
【主权项】：
一种利用丝网印刷工艺实现低成本叉指换能器和反射栅的制备方法，其特征在于该方法包括步骤如下：第1、制丝网根据应用场合的具体需求，设计声表面波器件版图，将待印刷的版图制成用于丝网印刷的掩膜板；第2、印刷采用导电银浆作为墨水，以抛光的压电材料基片作为基材，按照给墨、刮墨和收墨的顺序进行印刷；第3、烘培将印刷完毕的产品放入红外烤箱内，逐渐加热到130℃~150℃，并持续加热1分钟，之后置于室温自然冷却，使得液体银墨水能够烧结为固体，并具有良好的导电性即可。
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