[发明专利]一种高精度的恒力输出气浮装置

摘要

本发明提供一种高精度的恒力输出气浮装置，包括输出气缸、补偿气缸、激光位移传感器、直线电机；所述输出气缸包括缸筒、第一活塞、输出轴、储气套、气压压板，所述补偿气缸包括补偿筒、第二活塞、活塞杆；所述第一活塞套装在缸筒内，所述第一活塞连接输出轴，所述储气套套装在缸筒外且与缸筒间形成储气腔，所述补偿筒一端与储气套固定且内腔和储气腔相通，所述第二活塞套装在补偿筒内，所述第二活塞连接活塞杆，所述活塞杆穿过端盖和空气轴承与直线电机连接，所述激光位移传感器固定在缸筒上；本发明增加了补偿气缸和储气套，增大了缸筒进气腔的容积，通过体积补偿和气压控制，可实现精确的、高速的恒力输出，结构简单、精度高、稳定性好。

主权项

一种高精度的恒力输出气浮装置，其特征在于：包括输出气缸、补偿气缸；所述输出气缸包括缸筒、第一活塞、输出轴、储气套、气压压板，所述补偿气缸包括补偿筒、第二活塞、活塞杆；所述一种高精度的恒力输出气浮装置还包括激光位移传感器、直线电机；所述第一活塞套装在缸筒内且与缸筒内壁间存在极小间隙，所述第一活塞连接输出轴，所述储气套套装在缸筒外且与缸筒间形成储气腔，所述补偿筒一端与储气套固定且内腔和储气腔相通，所述补偿筒另一端安装端盖，所述第二活塞套装在补偿筒内，所述第二活塞连接活塞杆，所述端盖外固定空气轴承，所述活塞杆穿过端盖和空气轴承与直线电机连接；所述缸筒包含一段缸筒密封端，所述输出轴穿过缸筒密封端且和缸筒密封端内壁间形成极小间隙，所述缸筒另一端安装底盖；所述气压压板套装在缸筒内且与缸筒内壁间存在极小间隙，所述气压压板下安装力传感器，所述力传感器固定在底盖上，所述底盖上开有出气口；所述激光位移传感器固定在缸筒上，所述输出轴上套装反光板，所述激光位移传感器和反光板位置相对；所述第一活塞上无输出轴的一端中心开有进气孔，所述第一活塞上沿圆周均布第一径向节流孔，所述第一径向节流孔与进气孔相通，所述第一径向节流孔内安装节流塞；所述第一径向节流孔沿轴向方向至少有两组；所述第一活塞上开有第一卸压槽；所述第一泄压槽包含活塞外圆 柱面上沿圆周方向的凹槽、凹槽内均布的径向盲孔以及与径向盲孔相通的轴向盲孔；所述轴向盲孔通向输出轴与缸筒间的内腔，所述凹槽位于第一径向节流孔的侧面且靠近活塞上无输出轴的一端；所述第一卸压槽与第一径向节流孔、进气孔间相互隔离；所述缸筒密封端沿圆周方向均布第二径向节流孔，所述第二径向节流孔沿轴向上至少有两组，所述第二径向节流孔内安装节流塞；所述缸筒密封端外套装气浮座，所述缸筒密封端与气浮座间设有密封腔，所述密封腔与第二径向节流孔相通；所述气浮座上设有气浮进气口；所述气压压板上沿圆周均布第三径向节流孔，所述第三径向节流孔与缸筒内腔相通，所述第三径向节流孔内安装节流塞；所述缸筒靠近气压压板的一端均布进气孔，所述进气孔连通缸筒内腔和储气腔；所述缸筒靠近密封端设有出气孔，所述出气孔与外界大气相通；所述储气套上开有储气进气口，所述储气进气口通过气管连接比例阀。