[发明专利]LPCVD设备的温控系统自校正方法与装置有效
| 申请号： | 201310504946.7 | 申请日： | 2013-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN103576672A | 公开（公告）日： | 2014-02-12 |
| 发明（设计）人： | 王峰;张乾 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G05B23/02 | 分类号： | G05B23/02;G05B13/04 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 李相雨 |
| 地址： | 100015 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种LPCVD设备的温控系统自校正方法，包括：对LPCVD设备各个温控区建立包含时滞误差的PID控制模型；建立包含权重系数的比例，积分，微分控制项的自校正调节项模型，并确定已建立的权重系数取值范围；建立监督控制项，用于加强控制系统的稳定性。同时，本发明也公开了一种LPCVD设备的温控系统自校正装置，包括：控制模型模块，用于建立LPCVD设备各个温控区的包含时滞误差的PID控制模型；权重PID控制模型模块，用于建立包含权重系数的比例，积分，微分控制项模型，并确定已建立的权值系数取值范围；监督模块，用于加强系统的稳定性。通过此种设计，提高了PID控制模型参数设置的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | lpcvd 设备 温控 系统 校正 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种LPCVD设备的温控系统自校正方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：1）对LPCVD设备各个温控区建立包含时滞误差的PID控制模型；2）建立包含权重系数的比例，积分，微分控制项的自校正调节项模型，并确定已建立的权重系数取值范围；3）建立监督控制项，用于加强LPCVD设备的温控系统的稳定性。
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