[发明专利]一种适用于SAW器件的清洗方法

摘要

本发明涉及一种适用于SAW器件的清洗方法，特征是，包括以下工艺步骤：（1）将复合表面活性剂、油酸三乙醇胺、三乙醇胺和纯水混合得到1号清洗液；将碳酸钠、亚硝酸钠和纯水混合得到2号清洗液；将1号清洗液和2号清洗液混合得到专用清洗液；（2）将SAW基片浸在专用清洗液中，在超声条件下进行清洗；（3）使用超纯水冲洗SAW器件基片表面；（4）将SAW基片在纯水中于超声条件下清洗；（5）将SAW基片在流动纯水下进行擦片；擦片时使用湿的长纤维纸沿重直于SAW基片切边的方向从上往下以同一方向擦洗；（6）擦片后重复步骤（3），冲洗后甩干，即完成SAW器件的清洗。本发明不仅能够降低生产成本，而且对基片表面的损伤极小，可控性高。

主权项

 一种适用于SAW器件的清洗方法，其特征是，包括以下工艺步骤：（1）专用清洗液的配制：将复合表面活性剂、油酸三乙醇胺、三乙醇胺和纯水按体积比20～26:30～36:25～30:30～35混合，得到1号清洗液；将碳酸钠、亚硝酸钠和纯水按4～6g:3～5g:60～100ml混合，得到2号清洗液；将1号清洗液和2号清洗液按体积比1:1～4:3混合均匀，得到专用清洗液； （2）将待清洗的SAW基片放入花篮，浸在专用清洗液中，在超声条件下进行清洗，清洗时间为1～2小时，超声频率为1～1.5MHz；（3）将装有SAW基片的花篮取出放在清洗槽中，使用超纯水冲洗SAW器件基片表面30～60秒后排水2～5秒，重复6～8次；（4）将步骤（3）处理后的SAW基片放入干净的石英缸中，加入纯水，在超声条件下清洗，清洗时间为15～25分钟，超声频率为1～1.5MHz； （5）擦片：步骤（4）纯水超声清洗完成后，将装有SAW基片的花篮取出放入容器中，在40～50℃的流动纯水下进行擦片；擦片时使用湿的长纤维纸沿重直于SAW基片切边的方向从上往下以同一方向擦洗；（6）擦片后重复步骤（3），对SAW基片进行冲洗，冲洗后将SAW基片在离心式甩干机中吹氮甩干，即完成SAW器件的清洗；所述甩干机的转速为1000～1500转/秒，甩干时间为100～140秒，氮气流量为115～180L/min。