[发明专利]半导体器件及其制作方法无效
申请号: | 201310505559.5 | 申请日: | 2013-10-24 |
公开(公告)号: | CN103594568A | 公开(公告)日: | 2014-02-19 |
发明(设计)人: | 黄苡叡;林素慧;赵志伟;徐宸科;吴俊毅 | 申请(专利权)人: | 天津三安光电有限公司 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01L33/36;H01L33/52 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 300384 天津市*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本发明公开了一半导体器件及其制作方法,其半导体器件,至少包括:发光外延叠层,具有上、下两个主表面;第一导电层,形成于所述发光外延叠层的第一表面上;第一封装层,包覆所述第一导电层;第二导电层,形成于所述发光外延叠层的第二表面上;第二封装层,包覆所述第二导电层;其中,所述第一、第二封装层保护所述半导体器件。本发明直接在芯片工艺端制作封装,可有效提高良率以及降低生产成本。 | ||
搜索关键词: | 半导体器件 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
半导体器件的制作方法,包括步骤:1)提供一外延片,其具有生长衬底及形成于生长衬底之上的发光外延叠层;2)在所述发光外延叠层的上表面上制作第一导电层;3)在所述第一导电层之上包覆第一封装层;4)移除生长衬底,露出所述发光外延叠层的下表面;5)在所述发光外延叠层的下表面制作第二导电层;6)在所述第二导电层之上包覆第二封装层;7)按半导体器件的尺寸,切割形成一系列半导体器件。
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