[发明专利]扩散石英舟的新型插片装置

摘要

本发明涉及一种扩散石英舟的新型插片装置，属于太阳能光伏电池制造技术领域，主要特点是硅片片盒处硅片的顶起装置、机械抓手和石英舟处硅片的顶起装置均由相对应的若干模块构成，各模块有序排列；顶起装置模块呈卡槽型，各卡槽内固定感应器，各卡槽由电动机驱动；机械抓手模块为旋转轴、吸片、电动机构成，吸片上固定感应器。本发明中各感应器由电脑控制电动机驱动，具有如下优点：1）在现有自动化设备的基础上，只需对三个部件进行一定的改进，改造成本较小；2）能够满足生产现场关于扩散石英舟插、卸片的所有需求，可以最大幅度降低人力成本；3）由于完全避免了人工插片、卸片，可以减少在生产过程中的污染，提高太阳能电池的效率，良率。

主权项

一种扩散石英舟的新型插片装置，包括硅片片盒处硅片的顶起装置、机械抓手、石英舟处硅片的顶起装置，其特征是，所述硅片片盒处硅片的顶起装置、机械抓手和石英舟处硅片的顶起装置均由相对应的若干模块构成，各模块有序排列；顶起装置模块呈卡槽型，各卡槽内固定感应器，感应器的信号外接电脑，各卡槽由各自的电动机驱动；机械抓手模块为旋转轴、吸片、电动机构成，吸片通过轴承绕旋转轴转动，每个吸片由各自电动机通过齿轮装置驱动，机械抓手的整体移动由电动机驱动，吸片上固定感应器，感应器的信号外接电脑。