[发明专利]一种多发光单元半导体激光器空间偏振测试方法及装置有效
| 申请号： | 201310508222.X | 申请日： | 2013-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN103528799B | 公开（公告）日： | 2017-01-11 |
| 发明（设计）人： | 王贞福;刘兴胜 | 申请（专利权）人： | 西安炬光科技有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;G01L1/24 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司61211 | 代理人： | 胡乐 |
| 地址： | 710119 陕西省西安市高*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种多发光单元半导体激光器空间偏振测试方法，对多发光单元半导体激光器发出的光进行快轴准直和慢轴准直；将多个发光单元整体在空间上放大，放大后的发光单元经过一个孔径光阑，调节孔径光阑的位置以及通光孔径只允许一个发光单元的光通过；发光单元的光经过孔径光阑后，入射到偏振分束棱镜中分成TE和TM两种不同偏振态的光，利用光电探测器对两路偏振光分别进行功率测试，得到该发光单元的偏振特性；保持多发光单元半导体激光器位置不动，通过移动孔径光阑，依次对每个发光单元的偏振特性进行测试；得到所有发光单元的偏振特性，形成空间偏振信息图，本发明实现了定量评价半导体激光器封装所所产生的应力，从而改善封装工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多发 单元 半导体激光器 空间 偏振 测试 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种多发光单元半导体激光器空间偏振测试方法，包括以下步骤：(1)对多发光单元半导体激光器发出的光进行快轴准直和慢轴准直；(2)经过快轴准直和慢轴准直后，将多个发光单元整体在空间上放大，放大后的发光单元经过一个孔径光阑，调节孔径光阑的位置以及通光孔径只允许一个发光单元的光通过；(3)每个发光单元的光经过孔径光阑后，入射到偏振分束棱镜中分成TE和TM两种不同偏振态的光，利用光功率探测器对两路偏振光分别进行功率测试，得到该发光单元的偏振特性；(4)保持多发光单元半导体激光器位置不动，通过移动孔径光阑，按照步骤(3)依次对每个发光单元的偏振特性进行测试；(5)最后得到所有发光单元的偏振特性，形成空间偏振信息图。
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