[发明专利]一种利用水吸收甲醛的声表面波甲醛气体传感器有效
申请号: | 201310511510.0 | 申请日: | 2013-10-25 |
公开(公告)号: | CN103512950A | 公开(公告)日: | 2014-01-15 |
发明(设计)人: | 胡佳;李臻;余琳;单志林;张婧 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第三十八研究所 |
主分类号: | G01N29/036 | 分类号: | G01N29/036 |
代理公司: | 安徽汇朴律师事务所 34116 | 代理人: | 丁瑞瑞 |
地址: | 230001 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明公开了一种利用水吸收甲醛的表面波甲醛气体传感器结构,包括压电基片、电极、导电敏感膜、绝缘敏感膜和电气引线,导电敏感膜、绝缘敏感膜吸附水蒸气,水蒸气吸附甲醛气体。吸附甲醛气体后,导电敏感膜的电导率发生变化,而绝缘敏感膜不发生变化,因此相应的输出频率产生不同变化,两者之差是传感器对甲醛气体的响应。本发明的优点在于:针对甲醛的沸点低、分子质量小、易溶于水的特点专门研制的声表面波气体传感器,检测灵敏度高,不需要手工采样。 | ||
搜索关键词: | 一种 利用 吸收 甲醛 表面波 气体 传感器 | ||
【主权项】:
一种利用水吸收甲醛的双通道声表面波传感器结构,包括压电基片(1),电极(2)和电气引线(5),电极(2)布置在压电基片(1)上,电气引线(5)连接电极(2),其特征在于:还包括导电敏感膜(3)、绝缘敏感膜(4),导电敏感膜(3)和绝缘敏感膜(4)覆盖在压电基片(1)上,导电敏感膜(3)、绝缘敏感膜(4)采用能够吸收空气中的水蒸气的敏感材料。
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