[发明专利]微机械构件及其制造方法和应用在审
| 申请号： | 201310511826.X | 申请日： | 2013-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN103787260A | 公开（公告）日： | 2014-05-14 |
| 发明（设计）人： | J·贡斯卡;J·赖因穆特;K·古切;J·弗莱;H·韦伯 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81C1/00;G01C19/5656;G01P15/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 郭毅 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微机械构件（100），所述微机械构件具有第一腔室（1）和第二腔室（3），在所述第一腔室中设置有第一传感器（2），在所述第二腔室中设置有第二传感器（4），其中，在所述第一腔室中和所述第二腔室中存在不同的压力，其特征在于，所述两个腔室（1，3）之一通过第三腔室（5）延伸至第一格栅结构（6），所述第一格栅结构设置在所述构件（100）的边缘区域中并且基本上严密密封地封闭。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 构件 及其 制造 方法 应用 | ||
【主权项】：
1.一种微机械构件(100)，所述微机械构件具有第一腔室(1)和第二腔室(3)，在所述第一腔室中设置有第一传感器(2)，在所述第二腔室中设置有第二传感器(4)，其中，在所述第一腔室中和所述第二腔室中存在不同的压力，其特征在于，所述两个腔室(1，3)之一通过第三腔室(5)延伸至格栅结构(6)，所述格栅结构设置在所述构件的边缘区域中并且严密密封地封闭。
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