[发明专利]正型光阻组成物的用途无效
| 申请号： | 201310513432.8 | 申请日： | 2013-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN103964698A | 公开（公告）日： | 2014-08-06 |
| 发明（设计）人： | 黄新义;黄圣文;叶子瑭;篮伟仁 | 申请（专利权）人： | 台湾永光化学工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00;G06F3/041;G03F7/039 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周长兴 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： |
一种正型光阻组成物的用途，可使用于一玻璃的切割工艺，以形成一具有切割路径的光阻膜，其中，该正型光阻组成物可包括：一含苯基的碱可溶树脂；一感光剂，其包括如下式(I)所示的官能基， |
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| 搜索关键词： | 正型光阻 组成 用途 | ||
【主权项】：
一种正型光阻组成物的用途，是使用于一玻璃的切割工艺，以形成一具有切割路径的光阻膜，其中，该正型光阻组成物包括：一15至50重量百分比的含苯基的碱可溶树脂；一2至15重量百分比的感光剂，其包括如下式(I)所示的官能基，![]()
一0.1至10重量百分比的黏着增进剂；以及余量溶剂。
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