[发明专利]可工位切换的精密定位台有效
| 申请号： | 201310513628.7 | 申请日： | 2013-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN104570614A | 公开（公告）日： | 2015-04-29 |
| 发明（设计）人： | 梁晓叶;江旭初;魏龙飞;王鑫鑫 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种可工位切换的精密定位台，包括工位切换装置，所述工位切换装置包括承载台、在所述承载台之上的活动夹紧定位装置和固定辅助夹紧定位装置，用于实现承载对象在工位切换时的精确定位。本发明利用活动夹紧定位装置和固定辅助夹紧定位装置驱动承载对象，进而实现了承载对象的移动，与现有技术中通过承载台的移动来带动承载对象的移动相比，结构更加简单，节约了垂向空间，同时，本发明同时实现了定位和导向的功能，能够保证承载对象的移动是在所需的工位间进行的。提供了一种垂向层次较少、结构较简单，不需要太多垂向空间的掩模台。 | ||
| 搜索关键词： | 可工位 切换 精密 定位 | ||
【主权项】：
一种可工位切换的精密定位台，其特征在于：包括工位切换装置，所述工位切换装置包括承载台、在所述承载台之上的活动夹紧定位装置和固定辅助夹紧定位装置，用于实现承载对象在工位切换时的精确定位。
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