[发明专利]一种光束跟踪式原子力显微镜扫描测头

摘要

一种光束跟踪式原子力显微镜扫描测头，是由光学检测模块和扫描模块构成，扫描模块有：进行水平一维扫描运动的Y向一维扫描机构和固定连接在Y向一维扫描机构上能够进行垂直一维扫描运动的Z向一维扫描机构，Z向一维扫描机构上固定有悬臂梁探针和位于悬臂梁探针上方的非球面透镜，Y向一维扫描机构上固定设置有直角棱镜；光学检测模块有：沿直角棱镜的水平入射光路依次设置的激光器、准直镜、极化分光镜、四分之一波片和第一分束器，其中，第一分束器的垂直分光光路上依次设置有第二分束器、管镜和CCD相机，第二分束器的水平方向接口连接有照明光源，极化分光镜的垂直光路上依次设置有会聚透镜和光电探测器。本发明能够消除误差，进行高速扫描成像。

主权项

一种光束跟踪式原子力显微镜扫描测头，是由光学检测模块(II)和与所述的光学检测模块(II)进行光连接的扫描模块(I)构成，其特征在于，所述的扫描模块(I)包括有：能够进行水平一维扫描运动的Y向一维扫描机构(7)和固定连接在所述Y向一维扫描机构(7)上能够进行垂直一维扫描运动的Z向一维扫描机构(5)，所述的Z向一维扫描机构(5)上固定有悬臂梁探针(3)和位于悬臂梁探针(3)上方的非球面透镜(4)，所述的Y向一维扫描机构(7)上固定设置有与所述的非球面透镜(4)透射光路相对应的直角棱镜(6)；所述的光学检测模块(II)包括有：沿直角棱镜(6)的水平入射光路依次设置的激光器(8)、准直镜(9)、极化分光镜(10)、四分之一波片(11)和第一分束器(12)，其中，所述的第一分束器(12)的垂直分光光路上依次设置有第二分束器(17)、管镜(19)和CCD相机(20)，所述的第二分束器(17)的水平方向接口连接有照明光源(16)，所述的极化分光镜(10)的垂直光路上依次设置有会聚透镜(13)和光电探测器(15)，所述的光学检测模块(II)和Y向一维扫描机构(7)固定在测头基座上，所述的Z向一维扫描机构(5)的工作方向与所述的Y向一维扫描机构(7)的工作方向正交，所述的光电探测器(15)安装在会聚透镜(13)的后焦平面以外。