[发明专利]表面处理装置、槽体以及喷出装置

摘要

本发明提供表面处理装置、槽体以及喷出装置。为了以高质量对沿竖直方向被保持的工件进行非电解镀层处理等表面处理，在电解镀銅槽（200）等各槽设置具有喷出口（6）的喷液部（4），处理液（Q）从喷液部（4）的喷出口（6）朝向板状工件（10）相对于水平面向斜上方喷出，使处理液（Q）与被搬送用吊架（16）把持的板状工件（10）的上部接触，在处理液（Q）顺着板状工件（10）移动的期间，使处理液（Q）附着于板状工件（10）的表面。

主权项

一种表面处理装置，其特征在于，所述表面处理装置具备：搬送用吊架，其用于在沿竖直方向保持被处理物的状态下搬送所述被处理物；槽体,其用于在内部使处理液附着于由所述搬送用吊架搬送来的所述被处理物；喷液部，其使所述处理液从喷出口朝向所述被处理物相对于水平面向斜上方喷出；以及搬送机构，其用于使所述搬送用吊架搬送到所述槽体内，所述被处理物是薄板，在所述槽体的内部，所述处理液与被所述搬送用吊架把持的所述被处理物的上部接触，在所述处理液顺着所述被处理物移动的期间，能够使所述处理液附着于所述被处理物的表面。