[发明专利]大口径离轴非球面光学元件几何参数的测算方法有效
| 申请号： | 201310517036.2 | 申请日： | 2013-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN103591888A | 公开（公告）日： | 2014-02-19 |
| 发明（设计）人： | 郭玲玲;任建岳;张星祥;张立国;何斌;李亚鹏 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/255 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 陶尊新 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 大口径离轴非球面光学元件几何参数的测算方法，涉及光学检测领域，解决现有大口径离轴非球面光学元件几何参数难以准确测量的问题；调整补偿器、干涉仪与待检非球面元件三者共轴。使用激光跟踪仪分别测量补偿器外表面处的坐标以及待检非球面镜处的坐标。使用补偿器柱面处测得的坐标数据，拟合非球面元件的光轴方向。依据拟合的光轴方向将测量坐标系下待检非球面处的坐标测量点进行旋转，使得旋转后的测量点对应的光轴与测量坐标系Z轴平行。对旋转后的非球面镜接触处的角锥反射镜球心测量点坐标，依据曲面方程进行非线性最小二乘拟合，得到待检非球面光学元件的几何参数。本方法测量过程简单，适用于大口径离轴非球面元件几何参数的测算。 | ||
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【主权项】：
大口径离轴非球面光学元件几何参数的测算方法，其特征是，该方法由以下步骤实现：步骤一、调整补偿器（2）、干涉仪（1）与待检非球面光学元件（4）同轴；步骤二、采用激光跟踪仪（3）与球形角锥反射镜（5）分别测量补偿器柱面的坐标数据以及待检非球面光学元件（4）镜面处的坐标数据；步骤三、利用步骤二获得的补偿器柱面的坐标数据，拟合待检非球面光学元件（4）的光轴方向；具体为：对补偿器柱面的坐标数据，通过最小化测量点到光轴距离的标准差，计算获得测量坐标系下的待检非球面光学元件（4）光轴方向；步骤四、依据拟合的光轴方向将测量坐标系下待检非球面光学元件（4）的坐标测量点进行旋转，使旋转后的测量点对应的光轴与测量坐标系下的Z轴平行；步骤五、对旋转后的待检非球面光学元件（4）的球形角锥反射镜（5）球心测量点坐标，进行非线性最小二乘拟合，获得待检非球面光学元件（4）的几何参数。
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