[发明专利]一种快速循环气冷真空炉有效
| 申请号： | 201310517646.2 | 申请日： | 2013-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN103557710A | 公开（公告）日： | 2014-02-05 |
| 发明（设计）人： | 施戈;彭建;陈良贤 | 申请（专利权）人： | 北京泰科诺科技有限公司 |
| 主分类号： | F27D9/00 | 分类号： | F27D9/00 |
| 代理公司： | 北京金智普华知识产权代理有限公司 11401 | 代理人： | 皋吉甫 |
| 地址： | 102212 北京市昌*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明是一种快速循环气冷真空炉，包括快速循环气冷真空炉及其快速循环气冷系统，本快速循环气冷真空炉应用于材料、机械领域。本发明通过将罗茨泵、变频电机和水冷系统与真空炉串联成循环气路，利用罗茨泵在低压下的高压缩比，使得稀薄气体可以在任意尺寸、形状的真空炉中连续、均匀地循环。加上两侧的水冷装置，可以快速冷却真空炉中的物料。这种快速循环气冷真空炉将大大增加真空炉的使用范围和使用效率，提高真空炉温度、压力的控制范围与精度，并改善多工件的温度均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 快速 循环 气冷 真空炉 | ||
【主权项】：
一种快速循环气冷真空炉，其特征在于，所述气冷真空炉包括真空炉（1）、快速循环气冷系统和抽气阀（8），其中，所述快速循环气冷系统包括：截止阀（2）；水冷管道（3），设置在真空炉（1）的两侧回路中；压力传感器（4），设置在水冷管道（3）上；充气阀门（7），所述充气阀门（7）与压力传感器（4）的配合控制循环气体的用量和所述真空炉（1）的腔室内压力；罗茨泵（5），所述罗茨泵（5）与所述抽气阀（8）构成抽真空部分，用于所述真空炉（1）的腔室的快速抽真空；所述截止阀（2）与抽气阀（8）配合切换所述罗茨泵（5）的工作模式，使其分别处于抽真空模式和循环气冷两种模式。
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