[发明专利]一种冷藏运输载具用温湿度传感器及其制备方法

摘要

本发明涉及一种冷藏运输载具用温湿度传感器及其制备方法，其传感器的感温单元与感湿单元分别固装在各自的由氮化硅钝化层所制成的方槽内；其制备方法的步骤是：首先淀积一层较厚的氮化硅钝化层，在其上光刻腐蚀形成两个腔作为感温单元和感湿单元的隔室，将感温单元和感湿单元分别安装到两个隔室中，再进行外围处理电路的印刷安装，最后对整个传感器进行封装检测。本发明感湿单元的上下电极和感湿膜均采用梳状结构，电极采用梳状结构的优点在于可以增大感湿单元的电容输出值，感湿膜采用梳状结构的优点在于增大了膜与空气的接触面积，缩短了水分子进出感湿膜的时间，从而提高传感器响应速度；采用CMOS工艺制备，具备微型化、低功耗的特点。

主权项

一种冷藏运输载具用温湿度传感器，其特征在于：包括感温单元、感湿单元及氮化硅钝化层，感温单元与感湿单元分别固装在各自的由氮化硅钝化层所制成的方槽内。