[发明专利]靶材的机械加工方法有效
| 申请号： | 201310518703.9 | 申请日： | 2013-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN104561890A | 公开（公告）日： | 2015-04-29 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;范文新 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种靶材的机械加工方法，包括：对靶材坯料溅射面和背面的平面整平加工工艺，以及对于靶材坯料各个侧面的侧面加工工艺，从而使得靶材坯料的厚度达预定厚度，靶材坯料溅射面和背面的平面尺寸达到预定平面尺寸。其中，对靶材坯料溅射面和背面的平整化处理工艺包括：对靶材坯料的溅射面和背面沿第一方向进行的一次平面整平工艺和二次平面整平工艺，以及对于溅射面的精加工平面整平工艺。上述技术方案中，通过沿第一方向对溅射面或背面的多步整平工艺，可有效缓解机械加工工艺中，靶材内部产生的应力，以及机械加工对于靶材产生的振动，从而有效抑制靶材坯料出现形变等缺陷，从而提高机械加工后的靶材质量，以及靶材机械加工后的靶材的成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 机械 加工 方法 | ||
【主权项】：
一种靶材的机械加工方法，其特征在于，包括：提供靶材坯料，并对靶材坯料进行侧面加工工艺和平面整平加工工艺；所述靶材坯料包括溅射面，沿第一方向与所述溅射面位置相对的背面，以及环绕于所述溅射面和背面周边的各个侧面；所述侧面加工工艺包括：对所述靶材坯料的各个侧面进行切削整平，至所述靶材坯料溅射面和背面的平面尺寸为预定平面尺寸；所述平面整平加工工艺包括：对所述靶材坯料的溅射面和背面进行一次平面整平工艺，至所述靶材坯料沿第一方向的厚度为第一厚度，获得第一靶材坯料；对所述第一靶材坯料的溅射面和背面进行二次平面整平工艺，至所述第一靶材坯料沿第一方向的厚度为第二厚度，获得第二靶材坯料；对所述第二靶材坯料的溅射面进行精加工平面整平工艺，直至所述第二靶材坯料沿第一方向的厚度至预定厚度，获得目标靶材。
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