[发明专利]一种检测三氟化氮的装置和方法无效

专利信息
申请号: 201310519856.5 申请日: 2013-10-28
公开(公告)号: CN103575918A 公开(公告)日: 2014-02-12
发明(设计)人: 杨震夏;杜海波;田亮亮;王祥滨;王国庆;苗英俊;刘耀中;张学谦;陈长江;牛巧云;王亮 申请(专利权)人: 邯郸派瑞节能控制技术有限公司
主分类号: G01N35/00 分类号: G01N35/00;G01N1/28
代理公司: 北京华夏正合知识产权代理事务所(普通合伙) 11017 代理人: 韩登营;张焕亮
地址: 056000*** 国省代码: 河北;13
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摘要: 发明涉及一种检测三氟化氮的装置和方法。一种检测三氟化氮的装置包括高温裂解炉、转化管、二氧化氮传感器气室和抽气泵,所述的高温裂解炉、选择性过滤器、转化管、二氧化氮传感器和抽气泵依次通过管道连接;所述的转化管内有转化剂,所述的二氧化氮传感器气室内有二氧化氮传感器。一种检测三氟化氮的方法,包括下列步骤:(1)将混有三氟化氮的空气通入到高温裂解炉中,进行裂解反应,产生的气体进入管路中冷却;(2)转化管内的转化剂将一氧化氮转化为二氧化氮;(3)二氧化氮传感器进行检测,输出电信号;(4)根据所测得的电信号和步骤(1)高温裂解炉的进气量即可计算出三氟化氮的浓度。它干扰气少,不用催化剂,成本低。
搜索关键词: 一种 检测 氟化 装置 方法
【主权项】:
一种检测三氟化氮的装置,其特征在于:一种检测三氟化氮的装置,包括高温裂解炉、转化管、二氧化氮传感器气室和抽气泵,所述的高温裂解炉、选择性过滤器、转化管、二氧化氮传感器和抽气泵依次通过管道连接;所述的转化管内有转化剂,所述的二氧化氮传感器气室内有二氧化氮传感器。
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