[发明专利]控片及涂胶显影机中喷嘴的检测方法在审
| 申请号： | 201310520271.5 | 申请日： | 2013-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN104567665A | 公开（公告）日： | 2015-04-29 |
| 发明（设计）人： | 易旭东;王跃刚;杨晓松;唐继征 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G03F7/30 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明揭示了一种控片及涂胶显影机中喷嘴的检测方法，所述控片中心设置有标尺，在所述控片上涂敷光阻，并进行临界曝光，之后显影，然后观察所述控片中心是否存在斑点，若存在斑点则依标尺读出半径r，并由公式y=-0.317r2+3.2r+0.02，算得偏移量y，然后结合第一方向进行调整喷嘴，就能够使得喷嘴的调整精确，并不需要打开其所在的单元，便捷有效。 | ||
| 搜索关键词： | 涂胶 显影 喷嘴 检测 方法 | ||
【主权项】：
一种控片，用于检测涂胶显影机中喷嘴的偏移，其特征在于，所述控片中心设置有标尺。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;，未经中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310520271.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种卫星精密基准桁架结构装置的精测方法
- 下一篇：一种连杆式位移监测仪
