[发明专利]一种微型光纤法布里-珀罗压力传感器及其制作方法有效
| 申请号： | 201310524956.7 | 申请日： | 2013-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN103528735A | 公开（公告）日： | 2014-01-22 |
| 发明（设计）人： | 葛益娴;王婷婷;张闯;冒晓莉 | 申请（专利权）人： | 南京信息工程大学 |
| 主分类号： | G01L1/24 | 分类号： | G01L1/24;G01L11/02 |
| 代理公司： | 南京众联专利代理有限公司 32206 | 代理人： | 顾进;叶涓涓 |
| 地址： | 210044 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种新型的微型光纤法布里-珀罗压力传感器及其制作方法。该传感器能够有效避免传统光纤法布里-珀罗传感器的压力敏感膜受压后，产生非平面移动，造成较大光能损失的缺陷，能够得到更高的测量精度。本发明提供的微型光纤法布里-珀罗压力传感器，包括通过静电键合工艺连接的单晶硅膜和硼硅酸盐光纤，所述单晶硅膜具有凸台，所述硼硅酸盐光纤具有凹腔，单晶硅膜具有凸台的一面和硼硅酸盐光纤的凹腔相对形成法布里-珀罗腔，所述凸台顶端形成反射面。本传感器使得敏感膜在受压变形过程中，光纤法布里-珀罗腔的两个反射面始终保持平行，大大提高了测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微型 光纤 法布里 压力传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种微型光纤法布里‑珀罗压力传感器，包括通过静电键合工艺连接的单晶硅膜和硼硅酸盐光纤，其特征在于：所述单晶硅膜具有凸台，所述硼硅酸盐光纤具有凹腔，单晶硅膜具有凸台的一面和硼硅酸盐光纤的凹腔相对形成法布里‑珀罗腔，所述凸台顶端形成反射面。
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