[发明专利]用于激光脉冲喷丸技术中激光能量调制的电光调制装置

摘要

本发明涉及一种用于激光脉冲喷丸技术中激光能量调制的电光调制装置，其是在棱镜表面的多层薄膜结构，包括第一金属薄膜、电光聚合物薄膜、第二金属薄膜、缓冲层；其中，棱镜的折射率高于第一、第二金属薄膜、缓冲层和电光聚合物薄膜的折射率。本发明同时利用了共轭聚合物材料的Pockels效应和Kerr效应，在不改变调制电压的情况下，通过引入直流偏压，增加了器件的调制度。特别适用于激光脉冲喷丸强化与成形技术中，通过调整调制器的直流工作偏压，实现激光光斑能量的精细调节。

主权项

一种用于激光脉冲喷丸技术中激光能量调制的电光调制装置，其是在棱镜表面的多层薄膜结构，包括：第一金属薄膜，由金或银制成，其厚度为30nm至50nm，第一金属薄膜作为耦合层和第一电极；电光聚合物薄膜，其具有一次和二次电光效应，作为波导层，电光聚合物薄膜的厚度为1μm至10μm；第二金属薄膜，由金或银制成，作为第二电极，其厚度为300nm至500nm；缓冲层，是聚甲基丙烯酸甲酯材料，位于波导层和第二电极之间，用于保护波导层，缓冲层的厚度为1μm至4μm；其中，棱镜的折射率高于第一、第二金属薄膜、缓冲层和电光聚合物薄膜的折射率，并且其中，加在所述电光聚合物薄膜上的外加电场包含直流偏压和调制电信号，所述电光调制装置通过调整所述直流偏压来精细调节调制光强的变化量。