[发明专利]一种电容式麦克风及其制备方法在审
| 申请号： | 201310526504.2 | 申请日： | 2013-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN104602172A | 公开（公告）日： | 2015-05-06 |
| 发明（设计）人： | 万蔡辛;杨少军 | 申请（专利权）人： | 北京卓锐微技术有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R31/00 |
| 代理公司： | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 | 代理人： | 孙皓晨;张爱莲 |
| 地址： | 100191 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种电容式麦克风及其制备方法，电容式麦克风包括：基板，其上具有一声腔；振膜，设置于声腔上部并与基板固连，被声压波激发时实现机械振动；背极，位于振膜上部，其上具有多个开孔和开槽；背极与振膜上分别设置有用于引出电极的焊盘，背极与振膜之间设置有固定的气隙，背极、气隙与振膜构成一个电容器，其中，在振膜的可动部分和与之相对的背极的可动部分之间，边缘处设有相对于基板固定的边缘连接，中部区域设有一个或多个连接振膜和背极的结构作为中部连接。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电容 麦克风 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种电容式麦克风，其特征在于，包括：基板，其上具有一声腔；振膜，设置于所述声腔上部并与所述基板固连，被声压波激发时实现机械振动；背极，位于所述振膜上部，其上具有多个开孔和开槽；所述背极与所述振膜上分别设置有用于引出电极的焊盘，所述背极与所述振膜之间设置有固定的气隙，所述背极、所述气隙与所述振膜构成一个电容器，其中，在所述振膜的可动部分和与之相对的所述背极的可动部分之间，边缘处设有相对于所述基板固定的边缘连接，中部区域设有一个或多个连接所述振膜和所述背极的结构作为中部连接。
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