[发明专利]非晶硅薄膜太阳能电池及其制备方法

摘要

本发明公开了一种非晶硅薄膜太阳能电池及其制备方法，太阳能电池的I层光吸收层所用薄膜材料为采用梯度氢稀释方法制备而得的初晶态非晶硅I-a-Si:H薄膜材料；所述梯度氢稀释方法将氢稀释浓度通过改变H2与SiH4的流量来实现氢稀释浓度由高到低变化。本发明使用梯度氢稀释方法制备光吸收层，开始采用高氢稀释度，使薄膜很快进入初晶态，随着薄膜的生长，降低氢稀释度，避免了在薄膜生长过程中，固定高氢稀释度使薄膜微晶化的问题，从而使薄膜一直处在初晶态的状态，极大的改善了薄膜的纵向均匀性；此种均匀性良好的光吸收层用于电池可有效提升电池的光电转换效率。

主权项

一种非晶硅薄膜太阳能电池的制备方法，其特征在于：所述太阳能电池的I层光吸收层所用薄膜材料为采用梯度氢稀释方法制备而得的初晶态非晶硅I‑a‑Si:H薄膜材料；所述梯度氢稀释方法将氢稀释浓度通过改变H2与SiH4的流量来实现氢稀释浓度由高到低变化。