[发明专利]一种基于毛细力辅助注模技术制作云纹光栅的方法有效
| 申请号： | 201310529145.6 | 申请日： | 2013-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN103529505A | 公开（公告）日： | 2014-01-22 |
| 发明（设计）人： | 谢惠民;戴相录 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 廖元秋 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于毛细力辅助注模技术制作云纹光栅的方法，属于云纹光栅的制作技术领域，包括：对试件的表面进行抛光；超声洗清洗试件，去除试件表面油污；将具有云纹光栅结构的软模板的表面与试件抛光的表面接触，保证两表面接触充分；在软模板上的云纹光栅结构与试件抛光表面形成的空腔开口侧滴入胶水，该空腔内壁与胶水间的毛细力辅助胶水填充空腔，完成注模；根据胶水的性质，采用相应条件使胶水固化；将软模板与试件分离，此时胶水固结在试件表面；利用胶水作为掩膜刻蚀试件，除去胶水后在试件表面形成云纹光栅；或在试件表面镀膜，除去胶水后在试件表面形成云纹光栅。该方法加工效率高，面积大，工艺简单。适合制作不同测试环境的光栅。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 毛细力 辅助 技术 制作 光栅 方法 | ||
【主权项】：
一种基于毛细力辅助注模技术制作云纹光栅的方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：1）对试件的表面进行抛光；2）超声洗清洗试件，去除试件表面油污；3）将具有云纹光栅结构的软模板的表面与试件抛光的表面接触，保证两表面接触充分；4）在软模板上的云纹光栅结构与试件抛光表面形成的空腔开口侧滴入胶水，该空腔内壁与胶水间的毛细力辅助胶水填充空腔，完成注模；5）根据胶水的性质，采用相应条件使胶水固化；6）将软模板与试件分离，此时胶水固结在试件表面；7）利用胶水作为掩膜刻蚀试件，除去胶水后在试件表面形成云纹光栅；或在试件表面镀膜，除去胶水后在试件表面形成云纹光栅。
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