[发明专利]水饱和蒸汽法相对湿度发生装置及其湿度算法

摘要

本发明公开了一种水饱和蒸汽法相对湿度发生装置及其湿度算法，包括气源、减压阀、质量流量控制器、输入气管、输出气管、水蒸气发生液罐、气体混合螺旋弯管、电磁阀和恒温控制箱；质量流量控制器包括第一质量流量控制器和第二质量流量控制器；电磁阀包括第一电磁阀、第二电磁阀和第三电磁阀；恒温控制箱包括第一恒温控制箱、第二恒温控制箱和第三恒温控制箱。先根据分压定律计算饱和蒸汽中的含水量C0，再计算稀释后的含水量C1，然后计算tx温度时的水汽含量Ctx，最后温度tx下，计算相对湿度RH。本发明的水饱和蒸汽法相对湿度发生装置及其湿度算法，具有能够获得多温度点、多湿度点的湿度标准气体，配气操作灵活且效率高等优点。

主权项

水饱和蒸汽法相对湿度发生装置，其特征是，包括气源（1）、减压阀（2）、质量流量控制器、输入气管（21）、输出气管（22）、水蒸气发生液罐（6）、气体混合螺旋弯管（8）、电磁阀和恒温控制箱； 所述质量流量控制器包括第一质量流量控制器（4）和第二质量流量控制器（3）；所述电磁阀包括第一电磁阀（9）、第二电磁阀（10）和第三电磁阀（11）；所述恒温控制箱包括第一恒温控制箱（12）、第二恒温控制箱（13）和第三恒温控制箱（14）； 所述第一恒温控制箱（12）包括第一气体恒温铜质弯管（15）和第一恒温工作腔（18）；所述第二恒温控制箱（13）包括第二气体恒温铜质弯管（16）和第二恒温工作腔（19）；所述第三恒温控制箱（14）包括第三气体恒温铜质弯管（17）和第三恒温工作腔（20）； 所述气源（1）输出的气体经减压阀（2）分为两路输出：第一路气体依次通过第一质量流量控制器（4）、输入气管（21）、水蒸气发生液罐（6）、输出气管（22）和气体混合螺旋弯管（8）输出；第二路气体依次通过第二质量流量控制器（3）和气体混合螺旋弯管（8）输出； 气体混合螺旋弯管（8）输出的湿度气体可供第一电磁阀（9）、第二电磁阀（10）、第三电磁阀（11）分别选择使用； 当第一电磁阀（9）接通后，气体经过第一电磁阀（9）依次进入第一恒温控制箱（12）的第一气体恒温铜质弯管（15）和第一恒温工作腔（18）； 当二电磁阀（10）接通后，气体经过第二电磁阀（10）依次进入第二恒温控制箱（13）的第二气体恒温铜质弯管（16）和第二恒温工作腔（19）； 当第三电磁阀（11）接通后，气体经过第三电磁阀（11）依次进入第三恒温控制箱（14）的气体恒温铜质弯管（17）和恒温工作腔（20）。