[发明专利]酚聚合物以及包含该酚聚合物的光刻胶在审
| 申请号： | 201310531053.1 | 申请日： | 2008-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN103694404A | 公开（公告）日： | 2014-04-02 |
| 发明（设计）人： | J·F·卡梅隆 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C08F220/30 | 分类号： | C08F220/30;C08F220/14;C08F220/18;G03F7/004;G03F7/027 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 郭辉 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及一种酚聚合物以及包含该酚聚合物的光刻胶。本发明涉及新的聚合物，其包含与聚合物骨架间隔开的酚基团和光酸不稳定基团。本发明优选的聚合物可用作化学增强型正性光刻胶的组分。 | ||
| 搜索关键词： | 聚合物 以及 包含 光刻 | ||
【主权项】：
1.一种包含光活性组分和树脂的光刻胶组合物，所述树脂包含下式的结构：![]()
其中各个Z为相同或不同的桥单元；X为一个或多个原子；各个R1为相同的或不同的非氢取代基；以及m为从0至4的整数；AL为包含光酸不稳定基团的部分；Y为对光刻过程基本上不反应的部分，选自苯基，或者单元c中的Y和Z一起由甲基丙烯酸甲酯形成；a、b和c为基于所述聚合物中的总重复单元的各聚合物单元的摩尔百分比，并且a、b和c各自大于0。
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