[发明专利]射频功率发射装置的支撑装置有效
| 申请号： | 201310533009.4 | 申请日： | 2013-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN104602435B | 公开（公告）日： | 2017-02-15 |
| 发明（设计）人： | 高颖;左涛涛;张亦涛 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司31002 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种用于电感耦合型等离子体处理装置的射频功率发射装置的支撑装置，其中，所述支撑装置包括长条形主体，其上设置有凹陷的滑轨；两个滑块，其分别设置在所述主体的两端，且和所述主体呈垂直放置；若干个固定装置，其设置于所述主体上，其可以在所述主体上的滑轨上滑动，且将射频功率发射装置固定在所述顶板上。所述支撑装置能够可调节地将射频发射装置固定在所述顶板上。 | ||
| 搜索关键词： | 射频 功率 发射 装置 支撑 | ||
【主权项】：
一种用于电感耦合型等离子体处理装置的射频功率发射装置的支撑装置，其中，所述电感耦合型等离子体处理装置包括一腔体，腔体包括顶板，射频功率发射装置设置于所述顶板上方，以发射射频能量到所述腔体内，所述支撑装置用于将射频功率发射装置固定在所述顶板上，其特征在于，所述支撑装置包括:长条形主体，其上设置有凹陷的滑轨；两个滑块，其分别设置在所述主体的两端，且和所述主体呈垂直放置，所述滑块能够以所述主体为轴以所述主体的端点为圆心顺时针或者逆时针转动；若干个固定装置，其设置于所述主体上，其可以在所述主体上的滑轨上滑动，且将射频功率发射装置固定在所述顶板上。
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