[发明专利]多电极石英力敏谐振器

摘要

本发明涉及一种多电极石英力敏谐振器的设计、结构及制作。本发明在同一石英晶体基片上不同的位置设置多对电极，每对电极可构成一个独立的谐振器，分别与各自的激励电路连接时各谐振器可同时独立地工作，彼此之间互不干扰。当在基片的边缘位置沿直径方向给基片施加径向力作用时，不同位置的谐振器表现出不同的力敏特性；选择一定的径向力作用方位，利用不同位置的谐振器间的力敏特性差异，通过共模抑制及频率信号融合技术，可得到一种能抑制温度干扰并具有良好力敏特性的多电极石英力敏谐振器。这种多电极石英力敏谐振器可作为力敏元件用于姿态检测、惯性导航、形变监控等军用装备及民用设施检测控制领域。

主权项

一种多电极石英力敏谐振器，涉及这种多电极石英力敏谐振器的设计、结构及制作，其特点是在同一石英晶体基片不同位置点有大小和形状相同的多对独立电极，每对独立电极构成一个独立谐振器，由此在同一石英晶体基片上的不同位置可形成多个独立谐振器。