[发明专利]硬掩模组合物的单体、硬掩模组合物及形成图案的方法

摘要

本发明披露了一种硬掩模组合物的单体、硬掩模组合物及形成图案的方法。具体地，本发明披露了由以下化学式1表示的用于硬掩模组合物的单体、包含该单体的硬掩模组合物、以及利用硬掩模组合物来形成图案的方法。在化学式1中，A¹至A⁴、X¹至X³、M和n与在具体实施方式中描述的相同，[化学式1]

主权项

一种由以下化学式1表示的用于硬掩模组合物的单体：[化学式1]其中，在上述化学式1中，A¹是脂族环状基团或芳族环状基团，A²至A⁴各自独立地为苯基，X¹至X³各自独立地为羟基、亚硫酰基、硫醇基、氰基、取代或未取代的氨基、取代或未取代的C1至C30烷基、取代或未取代的C1至C20烷基胺基团、或取代或未取代的C1至C30烷氧基，M是CR^a、SiR^b、N、P、PR^cR^d、或PR^e，以及n是范围为1至4的整数，条件是，在M中，R^a、R^b、R^c和R^d各自独立地为氢、取代或未取代的C1至C10烷基、卤素原子、含卤素基团、或它们的组合，以及R^e是氧(O)或硫(S)。